4结论

结构线锯切割时，砂浆用量降低和进给速度提高后，硅片的Rt值、TTV值和翘曲度略有增加，符合A类片标准，而且，切割后结构线锯磨损和椭圆度，以及碳化硅磨损值可以控制在正常范围内，可以降低砂浆用量，提高切割效率。

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 翟大东,陈洁

(特变电工新疆新能源股份有限公司，新疆，831100)