摘 要：随着我国重工业的不断发展工业炉以被各工业企业所应用，单随着时间的推移部分工业炉的真空系统在生产和加工过程中会出现一些不同的问题，使加工的产品出现质量问题。但工业炉再生产过程中出现故障往往是很难发现的，如何在很短的时间内发现故障并确定故障出现在那里，做到快速精准维修是摆在我们当下的一个问题，本文主要阐述了如何快速判断真空系统故障部位，并阐明理论依据;描述如何进行真空泄漏检查工业炉的真空系统，以及检查和检测工业炉各个泵的抽气能力的一些经验方法，供参考。

一、工业炉真空系统

工业炉的真空系统组成非常复杂，主要是由抽气泵和交换阀门构成的。在生产过程中我们要先开启抽气泵，打开控气阀门对真空室进行抽空，当真空室压力低于规定值时，启动罗茨泵，打开旁路阀对扩散泵抽真空。当真空压力低于扩散泵允许值时，接通加热按钮，对扩散泵进行预热。当扩散泵预热至规定温度并且真空压力低于系统规定值时，打开高真空阀，对真空室抽高真空。

二、生产中怎么确定工业炉真空系统的故障部位

当炉子抽不到预定的极限真空时，原因主要有五个方面：真空室或管路漏气、真空泵工作不正常、真空计故障、炉体冷却微漏、材料放气。

2.1真空室或管路漏气的判断方法

首先测定并计算“升压率”，如果升压率低于设备允许值 (例如：要求<0.667Pa/h)，可以认为炉子不漏气，反之漏气。漏气可以应用检漏仪检漏。

2.2真空泵的判断方法

如果系统不漏气，那有可能就是真空泵坏了，但在进行真空泵检测前，先看一下泵油的情况，如果油浑浊或已经氧化变质，就先换油再试。

2.2.1 机械泵、罗茨泵抽气能力的判断方法

准备工作：按照真空室或管路漏气的判断方法，确认管路无漏气;在管路上找到合适位置安装备用的低真空规管，再将这个规管的电缆线连接到炉子真空计的备用通道上。首先关闭图1中的主路阀和旁路阀。然后单独开启机械泵，一段时间后读取管路中极限真空压力数值，对比说明书上机械泵出厂的极限压力指标，即可判断出泵的性能好坏。同样关闭图1中的主路阀和旁路阀。在机械泵符合要求的前提下，同时开启机械泵和罗茨泵，一段时间后读取管路中极限真空压力数值，再对比这台炉子说明书，要求罗茨泵能抽到的压力范围，就可以判断出罗茨泵的好坏。

2.2.2扩散泵抽气能力的判断方法

正常操作设备，依次开启机械泵和罗茨泵，当炉内真空压力可以达到扩散泵的启动条件，扩散泵就可启动。如果扩散泵开启一段时间后，炉内极限真空压力不能达到工艺要求，则扩散泵有问题。

2.3真空计的判断方法

有时故障是由于真空计损坏或设置不当造成的。

2.4其他方面的判断方法

有时炉子的极限真空度和升压率都符合工艺要求，但是加工后零件表面有变色现象。这时很有可能是炉内漏水造成的，需要查找漏点。如果炉子停机一段时间，再次启动后需要按照设备说明书进行烘炉

(洗炉) 操作，之后设备才能恢复正常 (在停炉期间，应保持炉内真空压力<1Pa)。

三、真空检漏的方法与仪器

3.1 真空检漏方法

在真空检漏时应将示漏物质加到被检器壁的某处，再用仪器检测通过漏孔逸出的示漏物质。

3.2检漏仪

氦质谱检漏仪就是用氦气做示漏气体的质谱检漏仪，是真空检漏中灵敏度最高、用得最普遍的一种检漏仪器。

3.3检漏过程中的注意事项

检漏仪连接好后，让炉子先抽一会真空，待炉内真空压力低于检漏仪的进口压力要求时，方可打开测试口的旋转阀门。检漏仪在工作状态下要避免振动，停机20min以后才允许移动。