四、真空泵性能测试

4.1真空泵特征

4.1.1机械泵

机械泵是行业内对真空炉粗抽泵的俗称，较常用的有旋片真空泵和滑阀真空泵。机械泵可单独工作或作为高真空机组的前级，其极限真空约10-

1Pa量级，一般工作时可以将真空室抽到几帕 (Pa) 量级。

4.1.2 罗茨泵

罗茨泵是一种常用的增压真空泵，工作真空范围为200～10- 1Pa。罗茨泵不能单独工作，需有机械泵作为前级泵，主要用于提高抽气速率和极限真空度。

4.1.3扩散泵

扩散泵是一种常用的高真空泵，极限真空度一般可达10- 4Pa。扩散泵不能单独工作，需机械泵或机械泵、罗茨泵组合作为前级泵。

4.2真空泵性能测量

4.2.1 机械泵测试方法参照《旋片式真空泵性能测量方法JB/T6533- 97》、 《滑阀式真空泵性能测量方法JB/T1246- 97》 标准

①极限压力测量

泵按规定条件运转，在不引入气体的试验罩内趋向稳定的最低压力。

②抽气速率测量

采用定压法测泵的抽气速率S。从试验罩流过的气体流量Q(观察流量计)与规定位置上的平衡压力p(略高于极限压力的适当值)的比值，即：S=Q/p (L/s)。

4.3 罗茨泵测试方法

参照 《罗茨真空泵性能测量方法JB/T7674- 95》 标准

极限压力和抽气速率的计算方法，与机械泵相同。但要求配用罗茨泵推荐的前级泵。

4.4扩散泵测试方法

参照 《蒸气流真空泵性能测量方法JB/T8272.1- 96》 标准

极限压力和抽气速率的计算方法，与机械泵相同。但需要注意测试条件：扩散泵加热功率及冷却条件应符合泵的规定;扩散泵油种类、牌号和用量以及配用前级泵均应符合泵的规定。

参考文献

[1]管立平,蒙瑜. 工业炉基础设计总结[J]. 钢铁技术,

[2]汪汉清,黄安凯,杨建波.