4.结论

我们研究证实了原子层沉积Al2O3可以应用到正面高浓度硼掺杂的N型PERL太阳能电池上。黑硅太阳能电池效率最佳可达18.7%。短波区域IQE很高说明硼掺杂黑硅正面PA-ALDAl2O3的钝化效果良好。研究结果表明：黑硅正面的纳米级小山峰结构在后续的工艺处理过程（扩散、硼玻璃刻蚀、光刻中抗腐蚀剂应用）中没有被破环。对工艺进一步优化可以提高黑硅太阳能电池的转换效率，例如扩散工艺优化、正面钝化和金属接触优化等。首次尝试把Al2O3钝化层引入到N型黑硅太阳能电池中，我们对结果很满意。

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（麻增智，赵朋松，王尚鑫，李吉，王丰，刘苗译）