3 周期换向脉冲电镀

3.1 基本原理

周期换向脉冲电镀又称双向脉冲电镀。典型的周期换向脉冲电流波形，如图2所示。在正向脉冲之后引入反向脉冲，正向脉冲比反向脉冲持续时间长，反向脉冲幅度通常大于正向脉冲的。大幅度、短时间的反向脉冲所引起的高度不均匀阳极电流密度分布可使镀层凸处被强烈溶解而整平。

周期换向脉冲电镀与单脉冲电镀相比，具有以下优越性:

(1)反向脉冲可有效改善镀层的厚度分布，镀层厚度更均匀，整平性更好;

(2)反向脉冲的阳极溶解使阴极表面金属离子的质量浓度迅速回升，这有利于下一个阴极周期使用高的脉冲电流密度，又使得晶核的形成速率大于生长速率，镀层致密度进一步提高;

(3)反向脉冲的阳极剥离使镀层中有机杂质(含光亮剂)的夹附大大减少，因而镀层纯度更高，抗变色能力更强，这一点在氰化镀银中尤为突出;

(4)反向脉冲使镀层中夹杂的氢发生氧化，从而可消除氢脆或减小内应力;

(5)周期性的反向脉冲使镀件表面一直处于活化状态，因此可得到结合力好的镀层;

(6)反向脉冲有利于减薄扩散层的实际厚度，提高阴极电流效率，因此合适的脉冲参数会使镀层的沉积速率进一步加快。

3.2 电流波形

周期换向脉冲电流的波形一般有以下几种:

3.2.1 有关断时间的单个脉冲换向