3.3 薄膜陶瓷基板

为了改善厚膜制程张网问题，以及多层叠压烧结后收缩比例问题，近来发展出薄膜 陶瓷基板作为LED晶粒的散热基板。薄膜散热基板乃运用溅镀、电/电化学沉积、以及黄光 微影制程制作而成，具备：

(1)低温制程(300℃以下)，避免了高温材料破坏或尺寸变异的可能性;

(2)使用黄光微影制程，让基板上的线路 更加精确;

(3)金属线路不易脱落…等特点，因此薄膜陶瓷基板适用于高功率、小尺 寸、高亮度的LED,以及要求对位精确性高的共晶/覆晶封装制程。而目前国内主要以瑷司柏 电子与同欣电等公司，具备了专业薄膜陶瓷基板生产能力。

4、国际大厂LED产品发展趋势

目前LED灯具发展的趋势，可从LED各封装大厂近期所发表的LED产品功率和尺寸观 察得知，高功率、小尺寸的产品为目前LED产业的发展重点，且均使用陶瓷散热基板作为其 LED晶粒散热的途径。因此，陶瓷散热基板在高功率，小尺寸的LED产品结构上，已成为相 当重要的一环，以下表二即为国内外主要之LED产品发展近况与产品类别作简单的汇整。

5、结论

要提升LED发光效率与使用寿命，解决LED产品散热问题即为现阶段最重要的课题之 一，LED产业的发展亦是以高功率、高亮度、小尺寸LED产品为其发展重点，因此，提供具 有其高散热性，精密尺寸的散热基板，也成为未来在LED散热基板发展的趋势。现阶段以氮 化铝基板取代氧化铝基板，或是以共晶或覆晶制程取代打金线的晶粒/基板结合方式来达到 提升LED发光效率为开发主流。在此发展趋势下，对散热基板本身的线路对位精确度要求极 为严苛，且需具有高散热性、小尺寸、金属线路附着性佳等特色，因此，利用黄光微影制 作薄膜陶瓷散热基板，将成为促进LED不断往高功率提升的重要触媒之一。