美国丹纳赫传动以Dover为商标,推出用于半导体后端工艺的完善的晶片定位系统。美国丹纳赫传动设计和制造了各种定位系统,特别为缩短制造时间和优化制造水平而设计了直接插拔系统。 运转更平滑,更安静,更快 晶片炉系统应用美国丹纳赫传动高精度直线运动系统、滑轨和台架,使晶片加工设备运转更长久、更平滑……周而复始地运转。 从电机到减速器、执行器直到轴承系统,具有50多年的经验和最广泛的产品选择,可以从同一技术源设计最节省成本、最高性能的成套解决方案。 晶片输送系统应用美国丹纳赫传动高精度直线运动系统、滑轨和台架,使芯片加工设备运转更长久更平滑……周而复始地运转。 从电机到减速器、执行器直到轴承系统,具有50多年的经验和最广泛的产品选择,可以从同一技术源设计最节省成本、最高性能的成套解决方案。 美国丹纳赫传动的高性能定位系统举例 高性能200mm和300mm晶片平台: 美国丹纳赫传动Triathalon平面空气轴承、直线运动晶片平台能够产出精确、高生产率和稳定性的最终产品。 空气轴承FPD台架系统: 美国丹纳赫传动的行业领先的通用型5、6和7套台架系统能够满足最苛刻的环境要求。 恒速扫描平台: 美国丹纳赫传动空气轴承扫描平台具有31皮米分辨率和保持低于5纳米的CV跟踪误差,专为大多数高要求图像应用而设计。 高真空定位系统: 用来使整体直接进入处理腔(最小抽真空级1X10-8Torr)。 高速空气轴承: 能够在非常紧凑的X轴组件里进行高效率晶片扫描。
来源:中国自动化网